Koalstoftetrafluoride (CF4)

Technyske parameters

Koalstoftetrafluoride is in halogeenearre koalwetterstof mei de gemyske formule CF4. It kin beskôge wurde as in halogeenearre koalwetterstof, halogeenearre metaan, perfluorkoalwetterstof, of as in anorganyske ferbining. Koalstoftetrafluoride is in kleurleas en geurleas gas, ûnoplosber yn wetter, oplosber yn benzeen en chloroform. Stabyl ûnder normale temperatuer en druk, foarkom sterke oksidanten, brânbere of brânbere materialen. Net-brânber gas, de ynterne druk fan 'e kontener sil tanimme as bleatsteld oan hege waarmte, en d'r is in gefaar foar barsten en eksploazje. It is gemysk stabyl en net-brânber. Allinnich floeibere ammoniak-natriummetaalreagens kin wurkje by keamertemperatuer. Koalstoftetrafluoride is in gas dat it broeikaseffekt feroarsaket. It is tige stabyl, kin lang yn 'e atmosfear bliuwe, en is in tige krêftich broeikasgas. Koalstoftetrafluoride wurdt brûkt yn it plasma-etsproses fan ferskate yntegreare circuits. It wurdt ek brûkt as lasergas, en wurdt brûkt yn lege-temperatuer koelmiddels, oplosmiddels, smeermiddels, isolearjende materialen en koelmiddels foar ynfrareaddetektors. It is it meast brûkte plasma-etsgas yn 'e mikro-elektroanika-yndustry. It is in mingsel fan tetrafluoromethaan hege-suverens gas en tetrafluoromethaan hege-suverens gas en hege-suverens soerstof. It kin breed brûkt wurde yn silisium, silisiumdiokside, silisiumnitride en fosfosilikaatglês. It etsen fan tinne filmmaterialen lykas wolfraam en wolfraam wurdt ek breed brûkt yn 'e oerflakreiniging fan elektroanyske apparaten, sinneselproduksje, lasertechnology, lege-temperatuerkoeling, lekinspeksje en reinigingsmiddel yn printe circuitproduksje. Brûkt as in lege-temperatuer koelmiddel en plasma droege etstechnology foar yntegreare circuits. Foarsoarchsmaatregels foar opslach: Bewarje yn in koel, fentilearre net-brânber gaspakhús. Hâld fuort fan fjoer en waarmteboarnen. De opslachtemperatuer moat net heger wêze as 30 °C. It moat apart opslein wurde fan maklik (brânbere) brânbere stoffen en oksidanten, en foarkom mingde opslach. De opslachromte moat foarsjoen wêze fan needbehannelingapparatuer foar lekkages.

Oanfraach:

① Koelmiddel:

Tetrafluoromethaan wurdt soms brûkt as in koelmiddel by lege temperatuer.

② Etsen:

It wurdt brûkt yn elektroanika-mikrofabrikaasje allinich of yn kombinaasje mei soerstof as in plasma-etsmiddel foar silisium, silisiumdiokside en silisiumnitride.

Normaal pakket:

Foardiel:

①Hege suverens, lêste foarsjenning;

②ISO-sertifikaatfabrikant;

③Snelle levering;

④On-line analysesysteem foar kwaliteitskontrôle yn elke stap;

⑤Hege easken en sekuer proses foar it behanneljen fan silinder foar it foljen;