Ultra-hege suverens (UHP) gassen binne de libbensbloed fan 'e healgeleideryndustry. Om't in noch nea earder sjoen fraach en fersteuringen yn wrâldwide leveringsketens de priis fan ultra-hege drukgas omheech driuwe, ferheegje nije ûntwerp- en produksjepraktiken foar healgeleiders it nivo fan fersmoargingskontrôle dat nedich is. Foar healgeleiderfabrikanten is it wichtiger as ea om de suverens fan UHP-gas te garandearjen.

Ultra High Purity (UHP) gassen binne absolút kritysk yn moderne healgeleiderproduksje

Ien fan 'e wichtichste tapassingen fan UHP-gas is inertisaasje: UHP-gas wurdt brûkt om in beskermjende sfear te jaan om healgeleiderkomponinten hinne, wêrtroch't se beskerme wurde tsjin 'e skealike effekten fan focht, soerstof en oare fersmoarging yn 'e sfear. Inertisaasje is lykwols mar ien fan 'e protte ferskillende funksjes dy't gassen útfiere yn 'e healgeleideryndustry. Fan primêre plasmagassen oant reaktive gassen dy't brûkt wurde by etsen en gloeien, ultra-hege drukgassen wurde brûkt foar in protte ferskillende doelen en binne essensjeel yn 'e heule supply chain fan healgeleiders.

Guon fan 'e "kearn" gassen yn 'e healgeleideryndustry omfetsjestikstof(brûkt as in algemien reinigings- en inert gas),argon(brûkt as it primêre plasmagas yn ets- en ôfsettingsreaksjes),helium(brûkt as inert gas mei spesjale waarmte-oerdrachtseigenskippen) enwetterstof(spilet meardere rollen yn gloeien, ôfsetting, epitaksy en plasmareiniging).

Mei de ûntwikkeling en it feroarjen fan de healgeleidertechnology binne ek de gassen dy't brûkt wurde yn it produksjeproses feroare. Tsjintwurdich brûke healgeleiderfabriken in breed skala oan gassen, fan edele gassen lykaskryptonenneonoan reaktive soarten lykas stikstoftrifluoride (NF3) en wolfraamhexafluoride (WF6).

Groeiende fraach nei suverens

Sûnt de útfining fan 'e earste kommersjele mikrochip hat de wrâld in ferrassende hast eksponentiële tanimming fan 'e prestaasjes fan healgeleiderapparaten sjoen. Yn 'e ôfrûne fiif jier is ien fan 'e wissichste manieren om dit soarte prestaasjesferbettering te berikken west troch "grutte-skalering": it ferminderjen fan wichtige dimensjes fan besteande chiparsjitektueren om mear transistors yn in bepaalde romte te persen. Derneist hawwe de ûntwikkeling fan nije chiparsjitektueren en it gebrûk fan baanbrekkende materialen sprongen yn apparaatprestaasjes produsearre.

Tsjintwurdich binne de krityske ôfmjittings fan baanbrekkende healgeleiders sa lyts dat grutte-skalering net langer in libbensfetbere manier is om de prestaasjes fan apparaten te ferbetterjen. Ynstee dêrfan sykje ûndersikers fan healgeleiders nei oplossingen yn 'e foarm fan nije materialen en 3D-chip-arsjitektueren.

Desennia fan ûnfermoeibere werûntwerp betsjutte dat de healgeliederapparaten fan hjoed de dei folle machtiger binne as de mikrochips fan eartiids - mar se binne ek kwetsberder. De komst fan technology foar it meitsjen fan wafers fan 300 mm hat it nivo fan ûnreinheidskontrôle dat nedich is foar de produksje fan healgelieders ferhege. Sels de lytste fersmoarging yn in produksjeproses (benammen seldsume of inerte gassen) kin liede ta katastrofale apparatuerfalen - dus is gasreinheid no wichtiger as ea earder.

Foar in typyske fabryk foar it meitsjen fan healgeleiders is gas mei ultra-suverens al de grutste materiaalútjefte nei silisium sels. Dizze kosten wurde ferwachte allinich mar ta te nimmen as de fraach nei healgeleiders nei nije hichten tanimt. Eveneminten yn Jeropa hawwe ekstra fersteuring feroarsake yn 'e spanningsfolle merk foar ierdgas mei ultra-hege druk. Oekraïne is ien fan 'e grutste eksporteurs fan hege suverens yn 'e wrâld.neontekens; de ynvaazje fan Ruslân betsjut dat de oanfier fan it seldsume gas beheind wurdt. Dit late op syn beurt ta tekoarten en hegere prizen fan oare edelgassen lykaskryptonenxenon.