Ultra-hege suvering (UHP) gassen binne de libbensbloed fan 'e semysjûnuele yndustry. As ungewoane fraach en fersteuringen nei wrâldwide leveringskatjes drukke de priis fan Ultra-hege drukgas op, Nije Semiconductor-ûntwerp en produsearjende praktiken fergrutsje it nivo fan fersmoargingskontrôle. Foar Makkers fan Semicondororen, kinne de suverheid fan UHP-gas wichtiger wêze as ea.

Ultra Hege suverens (UHP) Gassen binne absolút kritysk yn moderne semakeluksjeproduksje

Ien fan 'e wichtichste applikaasjes fan UHP-gas is ynertisaasje: UHP-gas wurdt brûkt om in beskermjende sfear te leverjen, te leverjen, dêrtroch beskerming fan' e skealike effekten fan focht, soerstof en oare kontaminanten yn 'e sfear. Inferisaasje is lykwols gewoan ien fan in protte ferskillende funksjes dy't gassen yn 'e sementuctor-yndustry útfiere. Fanôf primêre plasma-gassen nei reaktive gassen brûkt yn etsen en annra-oplûken wurde ultra-drukgassen brûkt foar in protte ferskillende doelen en binne essensjeel yn 'e sementuele stasjonale ketting.

Guon fan 'e "kearn" Gassen yn' e Sementuce-yndustry omfetsjestikstof(brûkt as in algemiene skjinmeitsjen en inert gas),Argon(brûkt as it primêre plasma-gas yn etsen en reaksjes),helium(brûkt as in inert gas mei spesjale eigenskippen fan hjitteferhâlder) enwetterstof(Spielt meardere rollen yn annealing, deposition, epitaxy en plasma-skjinmeitsjen).

As Semiconductor-technology is evoluearre en feroare, dus hawwe de gassen brûkt yn it fabrikaazjeproses. Hjoed brûke Semicondor-produksjeplanten in breed skala oan gassen, fan aadlike gassen lykaskarptonenneonTO REACTIVE SCOPS SHEY AS NITROGEN TRIFLUORIDE (Nf 3) en Tungsten HEXAFLuoride (WF 6).

Groeiende fraach nei suverens

Sûnt de útfining fan 'e earste kommersjele mikrochip hat de wrâld tsjoende in ferrassende tichtby eksponinsjele ferheging fan' e prestaasjes fan semiconductor-apparaten. De ôfrûne fiif jier is ien fan 'e surste manieren om dit soarte fan prestaasjes te berikken is troch "grutte scaling" west troch "Kaaiswimens fan besteande chip-arsjitues om mear transistors yn te drukken yn in gegeven romte yn in gegeven romte yn in bepaalde romte. Njonken dit is de ûntwikkeling fan nije chip arsjitues en it gebrûk fan besunigingsmateriaal produsearre springen yn apparaten.

Tsjintwurdich binne de krityske dimensjes fan snijwurk Semicondu's no sa lyts dat grutte skaling net langer in libbensfetbere manier is om apparaten foar apparaten te ferbetterjen. Ynstee sykje Semicondor-ûndersikers nei oplossingen yn 'e foarm fan romanmateriaal en 3D-chip-arsjitektueren.

Decades of Tireless Redesign betsjutte fan hjoeddeistige semiconden-apparaten binne folle machtiger dan de mikrochips fan âld - mar se binne ek mear fragile. De komst fan 300mm Wafer Fabrication Technology hat it nivo fan ûnrêstige kontrôle ferhege nedich foar mingsel fan semicondu-produksje. Sels de lytste fersmoarging yn in fabrikaazjeproses (foaral seldsume as inert gassen) kinne liede ta Catastrofale apparatuerfout - sadat Gas-reinheid no wichtiger is.

Foar in typyske Semiconductor Fabricaasje-plant is Ultra-hege suverensgas al it grutste materiaalpost nei Sinticon sels. Dizze kosten wurde allinich ferwachte om te ferheegjen as fraach nei Semicondu's soarget nei nije hichten. Eveneminten yn Jeropa hawwe in ekstra fersteuring feroarsake oan 'e tiid ultra-hege druk natuerlike gasmerk. Oekraïne is ien fan 'e grutste eksporteurs fan' e wrâld fan hege suverensneonTekens; Invasion fan Ruslân betsjuttet dat leveringen fan it seldsum gas wurde beheind. Dit op syn beurt liede ta tekoarten en hegere prizen fan oare aadlike gassen lykaskarptonenxenon.