Ultra-hege suverens (UHP) gassen binne it libbensbloed fan 'e semiconductor yndustry. Om't ungewoane fraach en fersteuringen foar wrâldwide leveringsketens de priis fan gas mei ultra-hege druk opdrukke, ferheegje nije semiconductor-ûntwerp- en fabrikaazjepraktiken it nivo fan fersmoargingskontrôle nedich. Foar semiconductor-fabrikanten is it yn steat om de suverens fan UHP-gas te garandearjen wichtiger dan ea.

Ultra High Purity (UHP) gassen binne absolút kritysk yn moderne semiconductor manufacturing

Ien fan 'e wichtichste tapassingen fan UHP-gas is inertisaasje: UHP-gas wurdt brûkt om in beskermjende sfear te leverjen om healgelearderkomponinten, en beskermje se dêrmei tsjin 'e skealike effekten fan focht, soerstof en oare kontaminanten yn 'e sfear. Inertisaasje is lykwols mar ien fan in protte ferskillende funksjes dy't gassen útfiere yn 'e semiconductorsektor. Fan primêre plasmagassen oant reaktive gassen dy't brûkt wurde yn etsen en annealing, wurde ultra-hege drukgassen brûkt foar in protte ferskillende doelen en binne essensjeel yn 'e heule leveringsketen fan' e semiconductor.

Guon fan 'e "kearn" gassen yn de semiconductor yndustry omfetsjestikstof(brûkt as algemiene reiniging en inert gas),argon(brûkt as it primêre plasmagas yn ets- en ôfsettingsreaksjes),helium(brûkt as in inert gas mei spesjale waarmte-oerdracht eigenskippen) enwetterstof(spilet meardere rollen yn annealing, deposition, epitaksy en plasma skjinmeitsjen).

As semiconductor technology is evoluearre en feroare, sa hawwe de gassen brûkt yn it produksjeproses. Tsjintwurdich brûke halfgeleiderfabrikanten in breed oanbod fan gassen, fan aadlike gassen lykaskryptonenneonoan reaktive soarten lykas stikstoftrifluoride (NF 3 ) en wolfraam hexafluoride (WF 6 ).

Groeiende fraach nei suverens

Sûnt de útfining fan 'e earste kommersjele mikrochip hat de wrâld tsjûge west fan in ferrassende hast eksponinsjele ferheging fan 'e prestaasjes fan semiconductor-apparaten. Yn 'e ôfrûne fiif jier is ien fan' e wisste manieren om dit soarte prestaasjesferbettering te berikken west troch "skaalfergrutting fan grutte": it ferminderjen fan wichtige dimensjes fan besteande chip-arsjitektuer om mear transistors yn in bepaalde romte te squeeze. Njonken dit hawwe de ûntwikkeling fan nije chip-arsjitektueren en it brûken fan moderne materialen sprongen makke yn apparaatprestaasjes.

Tsjintwurdich binne de krityske dimensjes fan moderne semiconductors no sa lyts dat skaalfergrutting fan grutte net langer in leefbere manier is om apparaatprestaasjes te ferbetterjen. Ynstee dêrfan sykje semiconductor-ûndersikers nei oplossingen yn 'e foarm fan nije materialen en 3D-chiparsjitektueren.

Desennia fan ûnfoldwaande werûntwerp betsjutte dat de hjoeddeistige semiconductor-apparaten folle machtiger binne dan de mikrochips fan âlds - mar se binne ek kwetsberer. De komst fan 300mm wafer fabrication technology hat ferhege it nivo fan ûnreinenskontrôle nedich foar semiconductor manufacturing. Sels de minste fersmoarging yn in fabrikaazjeproses (benammen seldsume of inerte gassen) kin liede ta katastrofale apparatuerfalen - dus de suverens fan gas is no wichtiger as ea.

Foar in typyske semiconductor fabrication plant, ultra-heech suverens gas is al de grutste materiaal kosten nei silisium sels. Dizze kosten wurde allinich ferwachte om te ferheegjen as de fraach nei semiconductors nei nije hichten tanimt. Eveneminten yn Jeropa hawwe ekstra fersteuring feroarsake oan 'e spannende ierdgasmerk mei ultrahoge druk. Oekraïne is ien fan 'e grutste eksporteurs fan' e wrâld fan hege suverensneonsigns; De ynvaazje fan Ruslân betsjut dat de leveringen fan it seldsume gas beheind wurde. Dat late op syn beurt ta tekoarten en hegere prizen fan oare aadlike gassen lykaskryptonenxenon.