Boortrichloried (BCl3)is in anorganyske ferbining dy't faak brûkt wurdt yn droege ets- en gemyske dampôfsettingsprosessen (CVD) yn 'e produksje fan healgeleiders. It is in kleurleas gas mei in sterke, skerpe geur by keamertemperatuer en is gefoelich foar fochtige loft, om't it hydrolysearret om sâltsoer en boorsûr te produsearjen.

Tapassingen fan boortrichloride

Yn 'e healgeleideryndustry,Boortrichloridewurdt benammen brûkt foar it droech etsen fan aluminium en as dopant om P-type regio's op silisiumwafers te foarmjen. It kin ek brûkt wurde om materialen lykas GaAs, Si, AlN te etsen, en as in boorboarne yn bepaalde spesifike tapassingen. Derneist wurdt boortrichloride in soad brûkt yn metaalferwurking, glêsyndustry, gemyske analyze en laboratoariumûndersyk.

Feiligens fan boortrichloride

Boortrichlorideis korrosyf en giftich en kin slimme skea oan 'e eagen en hûd feroarsaakje. It hydrolysearret yn fochtige loft om giftich wetterstofchloridegas frij te meitsjen. Dêrom moatte passende feilichheidsmaatregels nommen wurde by it omgean meiBoortrichloride, ynklusyf it dragen fan beskermjende klean, in beskermjende bril en sykhelbeskermingsmiddelen, en it operearjen yn in goed fentilearre omjouwing.