Wetterstofchlorideis in kleurleas gas mei in skerpe geur. De wetterige oplossing dêrfan wurdt sâltsoer neamd, ek wol bekend as sâltsoer. Wetterstofchloride is tige oplosber yn wetter. By 0 °C kin 1 folume wetter sawat 500 folumes wetterstofchloride oplosse.

It hat de folgjende eigenskippen en skaaimerken:

1. Hege suverens

De suverens fan elektroanyske klassewetterstofchlorideis tige heech, meastal op ppm of in leger nivo, om te soargjen dat der gjin ûnreinheden yn it produksjeproses fan healgeleiders ynfierd wurde.

2. Traachheid

It is in gemysk inert gas dat net reagearret mei in protte oare stoffen, wat tige wichtich is om fersmoarging fan healgeleidermaterialen en apparatuer te foarkommen.

3. Hege stabiliteit

Elektronyske klassewetterstofchloridehat oer it algemien stabile skiekunde om betroubere healgeleiderferwurking te garandearjen.

Yn healgeleiderferwurking omfetsje de wichtichste tapassingen fan wetterstofchloride fan elektroanyske kwaliteit:

1. Oerflakreiniging en tarieding

As in effisjinte oerflakreiniger, elektroanyske kwaliteitwetterstofchloridewurdt brûkt om oksiden en ûnreinheden fan it substraatoerflak te ferwiderjen om de kwaliteit en suverens fan 'e epitaksiale laach of film te garandearjen.

2. Epitaksiale groeihelp

Brûkt as in oerflakbehannelingsmiddel yn it epitaksiale proses, helpt it om de kwaliteit fan 'e epitaksiale laach te ferbetterjen, it roasteroanpassing te ferbetterjen en de foarming fan roasterdefekten te ferminderjen.

3. Substraatfoarbehanneling

Foardat de tarieding fan healgeleiderapparaten, elektroanyske kwaliteitwetterstofchloridekin brûkt wurde om it substraatoerflak te behanneljen om in stabile basis te foarmjen om de adhesion tusken de epitaksiale laach en it substraat te ferbetterjen.

4. Hulpmiddel foar ôfsetting

Yn it proses fan gemyske dampôfsetting (CVD) of fysike dampôfsetting (PVD) kin wetterstofchloride fan elektroanyske kwaliteit brûkt wurde as in gasfaze-oerdrachtmedium om diel te nimmen oan 'e ôfsettingsreaksje fan healgeleidermaterialen.

5. Gasfaze-oerdrachtmiddel

As in gasfaze-oerdrachtmiddel wurde oare gasfoarmige foargongers yn 'e reaksjekeamer ynfierd om de ôfsettingssnelheid en uniformiteit fan it materiaal oan te passen.

Dizze skaaimerken meitsje elektroanyske klassewetterstofchloridein wichtich ferwurkingsmiddel yn healgeleidertechnology, dat in wichtige ynfloed hat op 'e prestaasjes en betrouberens fan it definitive apparaat.

Neist it gebrûk yn healgeleiderferwurking kin wetterstofchloride fan elektroanyske kwaliteit in ferskaat oan gebrûken fine op oare gebieten, ynklusyf: tarieding fan materialen mei hege suverens, brânstofsellen, groei fan healgeleidermateriaal, dampfazelitografy, materiaalanalyse, gemysk ûndersyk.

Yn 't algemien, elektroanyske klassewetterstofchlorideis in alsidich, heechsuver gas dat in breed skala oan tapassingen hat bûten de produksje fan healgeleiders.