Yn it produksjeproses fan healgeleiderwafergieterijen mei relatyf avansearre produksjeprosessen binne hast 50 ferskillende soarten gassen nedich. Gassen wurde oer it algemien ferdield yn bulkgassen enspesjale gassen.

Tapassing fan gassen yn mikro-elektroanika- en healgeleideryndustry It gebrûk fan gassen hat altyd in wichtige rol spile yn healgeleiderprosessen, benammen healgeleiderprosessen wurde in soad brûkt yn ferskate yndustryen. Fan ULSI, TFT-LCD oant de hjoeddeiske mikro-elektromechanyske (MEMS) yndustry, wurde healgeleiderprosessen brûkt as produktproduksjeprosessen, ynklusyf droech etsen, oksidaasje, ionymplantaasje, tinne-filmôfsetting, ensfh.

Bygelyks, in protte minsken witte dat chips fan sân makke binne, mar as wy nei it heule proses fan chipproduksje sjogge, binne mear materialen nedich, lykas fotoresist, polijstfloeistof, doelmateriaal, spesjaal gas, ensfh. binne ûnmisber. Back-end ferpakking fereasket ek substraten, tuskenlizzende lagen, leadframes, bondingmaterialen, ensfh. fan ferskate materialen. Elektroanyske spesjale gassen binne it twadde grutste materiaal yn healgeleiderproduksjekosten nei silisiumwafers, folge troch maskers en fotoresisten.

De suverens fan gas hat in beslissende ynfloed op 'e prestaasjes fan komponinten en produktopbringst, en de feiligens fan 'e gasfoarsjenning is relatearre oan 'e sûnens fan personiel en de feiligens fan fabryksoperaasjes. Wêrom hat de suverens fan gas sa'n grutte ynfloed op 'e prosesline en it personiel? Dit is gjin oerdriuwing, mar wurdt bepaald troch de gefaarlike eigenskippen fan it gas sels.

Klassifikaasje fan gewoane gassen yn 'e healgeleideryndustry

Gewoan gas

Gewoan gas wurdt ek wol bulkgas neamd: it ferwiist nei yndustrieel gas mei in suverheidseasken leger as 5N en in grut produksje- en ferkeapvolume. It kin wurde ferdield yn loftskiedingsgas en synthetysk gas neffens ferskate tariedingsmetoaden. Wetterstof (H2), stikstof (N2), soerstof (O2), argon (A2), ensfh.;

Spesjaliteitsgas

Spesjaliteitsgas ferwiist nei yndustrieel gas dat brûkt wurdt yn spesifike fjilden en spesjale easken hat foar suverens, ferskaat en eigenskippen.SiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... en sa fierder.

Soarten fan spesjale gassen

Soarten spesjale gassen: korrosyf, giftich, brânber, ferbaarningsûnderstipe, inert, ensfh.
Faak brûkte healgeleidergassen wurde as folget klassifisearre:
(i) Korrosyf/giftig:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2BCl3…
(ii) Brandber: H2,CH4,SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO...
(iii) Brânber: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Inert: N2,CF4C2F6C4F8,SF6CO2Ne,Kr,Hy…

Yn it proses fan it meitsjen fan healgeleiderchips wurde sawat 50 ferskillende soarten spesjale gassen (oantsjutten as spesjale gassen) brûkt yn oksidaasje, diffúzje, ôfsetting, etsen, ynjeksje, fotolitografy en oare prosessen, en de totale prosesstappen binne mear as hûnderten. Bygelyks, PH3 en AsH3 wurde brûkt as fosfor- en arseenboarnen yn it ionenimplantaasjeproses, F-basearre gassen CF4, CHF3, SF6 en halogeengassen CI2, BCI3, HBr wurde faak brûkt yn it etsproses, SiH4, NH3, N2O yn it ôfsettingsfilmproses, F2/Kr/Ne, Kr/Ne yn it fotolitografyproses.

Ut de boppesteande aspekten kinne wy ​​begripe dat in protte healgeleidergassen skealik binne foar it minsklik lichem. Benammen guon fan 'e gassen, lykas SiH4, binne selsûntstekkend. Salang't se lekke, sille se heftich reagearje mei soerstof yn 'e loft en begjinne te baarnen; en AsH3 is tige giftich. Elke lytse lekkage kin skea feroarsaakje oan it libben fan minsken, dêrom binne de easken foar de feiligens fan it ûntwerp fan it kontrôlesysteem foar it gebrûk fan spesjale gassen bysûnder heech.

Healgeleiders fereaskje gassen mei hege suverens om "trije graden" te hawwen

Gas suverens

De ynhâld fan ûnreinheidsatmosfear yn it gas wurdt meastentiids útdrukt as in persintaazje fan gassuverens, lykas 99.9999%. Yn 't algemien berikt de suverheidseasken foar elektroanyske spesjale gassen 5N-6N, en wurdt ek útdrukt troch de folumeferhâlding fan ûnreinheidsatmosfearynhâld ppm (diel per miljoen), ppb (diel per miljard), en ppt (diel per triljoen). It fjild fan elektroanyske healgeleiders hat de heechste easken foar de suverens en kwaliteitsstabiliteit fan spesjale gassen, en de suverens fan elektroanyske spesjale gassen is oer it algemien grutter as 6N.

Droechheid

De ynhâld fan spoarwetter yn it gas, of fochtigens, wurdt meastentiids útdrukt yn dauwepunt, lykas atmosfearysk dauwepunt -70 ℃.

Skjinens

It oantal fersmoargjende dieltsjes yn it gas, dieltsjes mei in dieltsjegrutte fan µm, wurdt útdrukt yn hoefolle dieltsjes/M3. Foar komprimearre loft wurdt it meastentiids útdrukt yn mg/m3 fan ûnûntkomber fêste resten, ynklusyf oaljeynhâld.