Yn it produksjeproses fan halfgeleiderwafelgieterijen mei relatyf avansearre produksjeprosessen binne hast 50 ferskillende soarten gassen nedich. Gassen wurde oer it generaal ferdield yn bulkgassen enspesjale gassen.

Tapassing fan gassen yn mikro-elektroanika en semiconductor-yndustry. Fan ULSI, TFT-LCD oant de hjoeddeistige mikro-elektromeganyske (MEMS) yndustry, wurde semiconductorprosessen brûkt as produktfabrykprosessen, ynklusyf droege etsen, oksidaasje, ion-ymplantaasje, tinne filmdeposysje, ensfh.

Bygelyks, in protte minsken witte dat chips binne makke fan sân, mar sjoen it hiele proses fan chip manufacturing, mear materialen binne nedich, lykas photoresist, polishing floeistof, doel materiaal, spesjale gas, ensfh binne ûnmisber. Back-end ferpakking fereasket ek substraten, interposers, lead frames, bonding materialen, ensfh fan ferskate materialen. Elektroanyske spesjale gassen binne it op ien nei grutste materiaal yn produksjekosten foar semiconductor nei silisiumwafels, folge troch maskers en fotoresists.

De suverens fan gas hat in beslissende ynfloed op komponint prestaasjes en produkt opbringst, en de feiligens fan gas oanbod is relatearre oan de sûnens fan personiel en de feiligens fan it fabryk operaasje. Wêrom hat de suverens fan gas sa'n grutte ynfloed op de prosesline en personiel? Dit is gjin oerdriuwing, mar wurdt bepaald troch de gefaarlike skaaimerken fan it gas sels.

Klassifikaasje fan mienskiplike gassen yn 'e semiconductor yndustry

Gewoan gas

Gewoan gas wurdt ek wol bulkgas neamd: it ferwiist nei yndustrygas mei in suverenseasken leger as 5N en in grut produksje- en ferkeapfolum. It kin wurde ferdield yn lucht skieding gas en syntetyske gas neffens ferskate tarieding metoaden. Wetterstof (H2), stikstof (N2), soerstof (O2), argon (A2), ensfh.;

Spesjaliteit Gas

Spesjaliteit gas ferwiist nei yndustrieel gas dat wurdt brûkt yn spesifike fjilden en hat spesjale easken foar suverens, ferskaat, en eigenskippen. BenammenSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCLCF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… en sa fierder.

Soarten Spicial gassen

Soarten spesjale gassen: corrosive, giftige, flammable, ferbaarning-stipe, inert, ensfh
Faak brûkte semiconductor gassen wurde klassifisearre as folget:
(i) Korrosyf/giftig:HCl、BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) Brandbaar: H2,CH4,SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO...
(iii) Brânber: O2, Cl2, N2O, NF3...
(iv) Inert: N2,CF4C2F6,C4F8,SF6、CO2、Ne,Kr,Hy…

Yn it proses fan semiconductor chip manufacturing, sa'n 50 ferskillende soarten fan spesjale gassen (oantsjutten as spesjale gassen) wurde brûkt yn oksidaasje, diffusion, deposition, etsen, ynjeksje, photolithography en oare prosessen, en de totale proses stappen mear as hûnderten. Bygelyks, PH3 en AsH3 wurde brûkt as fosfor en arseen boarnen yn it ion implantation proses, F-basearre gassen CF4, CHF3, SF6 en halogeen gassen CI2, BCI3, HBr wurde faak brûkt yn it etsproses, SiH4, NH3, N2O yn it ôfsettingsfilmproses, F2/Kr/Ne, Kr/Ne yn it fotolitografyproses.

Ut de boppesteande aspekten kinne wy ​​begripe dat in protte semiconductor gassen binne skealik foar it minsklik lichem. Benammen guon fan 'e gassen, lykas SiH4, binne selsûntstekking. Salang't se lekke, sille se fûleindich reagearje mei soerstof yn 'e loft en begjinne te ferbaarnen; en AsH3 is tige giftig. Elke lichte lekkage kin skea oan it libben fan minsken feroarsaakje, sadat de easken foar de feiligens fan it ûntwerp fan it kontrôlesysteem foar it brûken fan spesjale gassen benammen heech binne.

Semiconductors fereaskje gassen mei hege suverens om "trije graden" te hawwen

Gas suverens

De ynhâld fan ûnreinens sfear yn it gas wurdt meastal útdrukt as in persintaazje fan gas suverens, lykas 99,9999%. Algemien sprutsen, de suverens eask foar elektroanyske spesjale gassen berikt 5N-6N, en wurdt ek útdrukt troch it folume ferhâlding fan ûnreinens atmosfear ynhâld ppm (diel per miljoen), ppb (diel per miljard), en ppt (diel per trillion). De elektroanyske semiconductor fjild hat de heechste easken foar de suverens en kwaliteit stabiliteit fan spesjale gassen, en de suverens fan elektroanyske spesjale gassen is oer it algemien grutter as 6N.

Droogte

De ynhâld fan spoarwetter yn it gas, of wietheid, wurdt normaal útdrukt yn dauwpunt, lykas atmosfearysk dauwpunt -70 ℃.

Cleanliness

It oantal fersmoargjende dieltsjes yn it gas, dieltsjes mei in dieltsjegrutte fan µm, wurdt útdrukt yn hoefolle dieltsjes/M3. Foar komprimearre loft wurdt it meastentiids útdrukt yn mg/m3 fan net te ûntkommen fêste resten, wêrby't oalje-ynhâld omfettet.