Yn it fabrikaazjeproses fan Semiconductor Wafer Founting fan relatyf avansearre produksjeprosessen, hast 50 ferskillende soarten gassen binne nedich. Gassen wurde algemien ferdield yn bulkgassen enspesjale gassen.

Applikaasje fan gassen yn mikroeleektronika en semikonde-yndustry it gebrûk fan gassen hat altyd in wichtige rol spile yn semikondorprosessen, fral semiconductor-prosessen binne breed brûkt yn ferskate yndustry. Fan Ulsi, TFT-LCD nei de hjoeddeistige Micro-Electromeical (MemS) Sektor (Mems) wurde brûkt as produktprosessen, ynklusyf droege etsen, oksidaasje, ion implantation, tinne filmdeposysje, ensfh.

Bygelyks, in protte minsken wite dat chips binne makke fan sân, mar sjogge nei it heule proses fan komprili, mear materialen, lykas platish, doelmateriaal, SPESIALE GAS, ens. Binne ûnmisber. Back-End-ferpakking fereasket ek substraat, ynterposanten, lead frames, bondingmaterialen, ensfh. Fan ferskate materialen. Elektroanyske spesjale gassen binne it twadde grutste materiaal yn Semiconductor-fabrikaazjeposten nei Silicon Wafers, folge troch maskers en fotoresisten.

De suverens fan gas hat in beslissende ynfloed op komponentprestaasjes en produktopbringst, en de feiligens fan gasfoarsjenning is besibbe oan 'e sûnens fan personiel en de feiligens fan fabryksaksje. Wêrom hat de suverens fan gas sa'n geweldige ynfloed op 'e prosesline en personiel? Dit is gjin oerdriuwing, mar wurdt bepaald troch de gefaarlike skaaimerken fan it gas sels.

Klassifikaasje fan mienskiplike gassen yn 'e Semiconductor-yndustry

Gewoane gas

Gewoan Gas wurdt ek neamd Bulk Gas neamd: it ferwiist nei yndustriële gas mei in suverensfereaske leger dan 5n en in grutte produksje- en ferkeapvolumint. It kin wurde ferdield yn Gas en synthetysk gas, neffens ferskate tariedingmethoden. Hydrogen (H2), stikstof (N2), soerstof (O2), argon (A2), ensfh .;

Spesjaliteit gas

Spesjaliteitsgas ferwiist nei yndustriële gas dat wurdt brûkt yn spesifike fjilden en spesjale easken hat foar suverens, ferskaat, en eigenskippen. FoarnaamsteSih4, PH3, B2H6, A8H3,Hcl, CF4,NH3, POCL3, Sih2cl2, Sihcl3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... ensafuorthinne.

Soarten spiciêre gassen

Soarten spesjale gassen: korrosyf, giftige, ontvlambaar, opblaber-stypjend, inert, ensfh.
Faak brûkt Semiconductor Gassen wurde klassifisearre as folget:
(i) korrosyf / giftige:Hcl, BF3, WF6, HBR, Sih2cl2, NH3, PH3, Cl2,BCL3...
(ii) Flammable: H2,Ch4,Sih4, PH3, Ash3, Sih2cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO ...
(iii) Kolbrustle: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) Inert: N2,CF4, C2F6,C4F8,SF6, CO2,Ne,Kr,Hy…

Yn it proses fan Semiconductor Chip-produksje, sawat 50 ferskillende soarten spesjale gassen (neamd as spesjale gassen) wurde brûkt yn oksidaasje, ôfwiking, fotolitografy en oare prosessen, en de totale prosesstappen mear as hûnderten. Bygelyks, Ph3 en Ash3 binne brûkt as fosfor en areseforten yn 'e ion-ymplantaasjeproses, F-HALLEN, SF4, N2O yn' e ôfsetfilmproses, f2 / kr / ne, kr / ne yn it fotolitografyproses.

Fan 'e boppesteande aspekten kinne wy ​​begripe dat in protte semysjinorgassen skealik binne foar it minsklik lichem. Benammen, guon fan 'e gassen, lykas SIH4, binne sels ignitearjen. Salang't se lekje, sille se heftich reagearje mei soerstof yn 'e loft en begjinne te ferbaarnen; en Ash3 is heul giftich. Elke ljochte lekkage kin skea feroarsaakje foar it libben fan minsken, dus de easken foar de feiligens fan it kontrôle fan it kontrôle-systeem foar it gebrûk fan spesjale gassen binne benammen heech.

Semiconductors hawwe gassen fan hege suverens nedich om "trije graden" te hawwen

Gas Purity

De ynhâld fan impöfthier yn it gas wurdt normaal útdrukt as in persintaazje gas-suverens, lykas 99.9999%. Algemien sprekke, de suverenseasken foar elektroanyske spesjale gassen berikt 5n-6N, en wurdt ek útdrukt troch it ûnfolsleine befwoofdvm (diel per miljoen), PPB (diel per miljard), en Ppt (diel per trillion). It Electronic Semiconductor Field hat de heechste easken foar de heulste en kwaliteitsstabiliteit fan spesjale gassen, en de suverens fan elektroanyske spesjale gassen is oer it algemien grutter dan 6n.

Droechte

De ynhâld fan spoarwetter yn it gas, as wiet, wurdt normaal útdrukt yn 'e daupunt, lykas atmosfearyske dauw point -70 ℃.

Sindlikens

It oantal fersmoargerde dieltsjes yn it gas, dieltsjes mei in dieltsje grutte fan μm, wurdt útdrukt yn hoefolle dieltsjes / m3. Foar komprimeare loft is it normaal útdrukt yn MG / M3 fan unferwiderbere solide resten, dy't oaljeynhâld omfettet.