De semicondu-yndustry fan ús lân en panielyndustry behâld in heech nivo fan wolfeart. Stikstof trifluoride, as in ûnmisber en it ûnmisste-folume-spesjaal elektroanysk gas yn 'e produksje en ferwurkjen fan panielen en semiconductors, hat in brede merkromte.
Faak brûkt fluormine-befette spesjale elektroanyske gassen omfetsjeSulfur HexaFluoride (SF6), Tungsten HexaFluoride (WF6),Carbon Tetrafluoride (CF4), Trifluoromethane (CHF3), stikstof trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) en octafluoropropane (C3F8). Nitrogen Trifluoride (NF3) wurdt fral brûkt as fluorboarne foar hydrogen Fluoride-fluor-fluoride-fluor-fluoride-fluor-fluor-fluor-fluor-fluor-fluor-fluor-fluor-fluor-fluor. It effektyf diel (sawat 25%) fan 'e reaksje enerzjy tusken H2-O2 en F2 kinne wurde frijlitten troch Laser-strieling, sadat HF-fan Lasers de meast belofte lasers binne ûnder gemyske lasers.
Nitrogen Trifluoride is in poerbêst plasma etsen yn 'e mikroelectronics-yndustry. Foar etsen silicon en silisiumnitride, hat stikstof trifluoride in heger etstofkoers en selektiver dan koalstof tetrafluoride en in miks fan koalstof tetraflueRide en soerstof, en hat gjin fersmoarging nei it oerflak. Benammen yn 'e etsen fan yntegreare circuit-materialen mei in dikte fan minder dan 1.5um hat stikstof trifluoride en selektiviteit, om gjin oertreding te ferlitten op it oerflak fan it etsen fan it etsen fan it etsen fan it etsen fan it etsen, en is ek in heul goede skjinmakker. Mei de ûntwikkeling fan Nanotechnology en de grutskalige ûntwikkeling fan 'e Electronics-yndustry sil syn fraach de dei troch dei ferheegje.
As in soarte fan fluor-befette spesjaal gas, stikstof trifluoride (NF3) is it grutste elektroanyske spesjale gasprodukt yn 'e merke. It is gemysk inert by keamertemperatuer, mear aktyf dan soerstof, stabyl dan fluor, en maklik te behanneljen by hege temperatuer.
Nitrogen Trifluoride wurdt fral brûkt as plasma etsen en reaksje skjinmakend agent, geskikt foar fabrikaazje foar fabrikaazje, platte panielskippen, optyske fibers, photovoltaïsche sellen, ensfh.
Fergelike mei oare fluor-befettet elektroanyske gassen, hat stikstof trifluoride de foardielen en selecisearmateriaal, en it is ek in heul goede skjinmakker, en it is net-fersmoarging nei it oerflak en kin foldwaan oan 'e behoeften fan it ferwurkingsproses.
Posttiid: DEC-26-2024
