Mienskiplike fluormin-befette spesjale elektroanyske gassen omfetsjeSulfur HexaFluoride (SF6), Tungsten HexaFluoride (WF6),Carbon Tetrafluoride (CF4), Trifluoromethane (CHF3), stikstof trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) en octafluoropropane (C3F8).
Mei de ûntwikkeling fan Nanotechnology en de grutskalige ûntwikkeling fan 'e Electronics-yndustry sil syn fraach de dei troch dei ferheegje. Stikstof trifluoride, as in ûnmensber en grutste-brûkte spesjaal elektroanysk gas yn 'e produksje en ferwurkjen fan panielen en semiconductors, hat in brede merkromte.
As in soarte fluor-befette spesjaal gas,Nitrogen Trifluoride (NF3)is it elektroanysk spesjaal gasprodukt mei de grutste merkkapasiteit. It is gemysk inert by keamertemperatuer, aktiver dan soerstof by hege temperatuer, stabyl dan fluor, en maklik te behanneljen. Nitrogen Trifluoride is fral brûkt as in plasma-etsen en in reaksje Cleaning Agent, en is geskikt foar de fabrikaazje fan semikusmakker, platte panielskippen, optyske fiber, fotovoltaïske sellen, ensfh.
Ferlike mei oare fluormin-befette elektroanyske gassen,stikstof trifluoridehat de foardielen fan snelle reaksje en hege effisjinsje. Benammen yn 'e etsen fan Silicon-befette materialen lykas Silisium Nitride, it hat in hege etsen taryf en selektiviteit, wêrtroch gjin residu op it oerflak fan it etsen foarwerp giet. It is ek in heul goede skjinmakmiddel en hat gjin fersmoarging nei it oerflak, dy't kin foldwaan oan 'e behoeften fan it ferwurkingsproses.
Posttiid: SEP-14-2024
