Algemiene fluor-befette spesjale elektroanyske gassen omfetsjesulfur hexafluoride (SF6), wolfraam hexafluoride (WF6),koalstoftetrafluoride (CF4), trifluormetaan (CHF3), stikstoftrifluoride (NF3), hexafluoretaan (C2F6) en octafluorpropaan (C3F8).
Mei de ûntwikkeling fan nanotechnology en de grutskalige ûntwikkeling fan 'e elektroanika-yndustry sil har fraach deistich tanimme. Stikstoftrifluoride, as in ûnmisber en meast brûkt spesjaal elektroanysk gas yn 'e produksje en ferwurking fan panielen en semiconductors, hat in brede merkromte.
As in soarte fan fluor-befette spesjale gas,stikstoftrifluoride (NF3)is it elektroanyske spesjale gasprodukt mei de grutste merkkapasiteit. It is gemysk inert by keamertemperatuer, aktyfer as soerstof by hege temperatuer, stabiler dan fluor, en maklik te behanneljen. Stikstoftrifluoride wurdt fral brûkt as plasma-etsgas en in reaksjekeamerreinigingsmiddel, en is geskikt foar de produksjefjilden fan semiconductor-chips, platte paniel-displays, optyske fezels, fotovoltaïske sellen, ensfh.
Yn ferliking mei oare fluor-befette elektroanyske gassen,stikstof trifluoridehat de foardielen fan snelle reaksje en hege effisjinsje. Benammen yn it etsen fan silisium-befette materialen lykas silisium nitride, it hat in hege ets taryf en selektiviteit, leaving gjin residu op it oerflak fan it etste foarwerp. It is ek in heul goede reinigingsmiddel en hat gjin fersmoarging oan it oerflak, dat kin foldwaan oan 'e behoeften fan it ferwurkingsproses.
Post tiid: Sep-14-2024
