Tungsten HOXAFLuoride (WF6) wurdt dellein op it oerflak fan 'e wafel fia in CVD-proses, de tûke metalen ûndersteande trenches en foarmje de metalen ynterconnection tusken lagen.
Litte wy earst oer Plasma prate. Plasma is in foarm fan matearje foaral gearstald út fergese elektroanen en opladen ionen. It bestiet breed yn it universum en wurdt faak beskôge as de fjirde steat fan 'e saak. It wurdt de PLASMA-steat neamd, ek "Plasma" neamd. Plasma hat hege elektryske konduktiviteit en hat in sterk koppeling-effekt mei elektromagnetysk fjild. It is in diel ionisearre gas, gearstald út elektroanen, ionen, frije radikalen, neutrale dieltsjes, en fotonen. It plasma sels is in elektrysk neutraal mingsel befette fysyk en gemysk aktyf dieltsjes.
De rjochte útlis is dat ûnder de aksje fan hege enerzjy, sil de molekule de Van Der Workorce oerwinne, gemyske Bond force en Coulomb-krêft, en presintearje in foarm fan neutrale elektrisiteit as gehiel. Tagelyk hat de hege enerzjy oan 'e hege enerzjy oan' e bûtenkant oerwint de boppesteande trije krêften. Funksje, elektroanen en ionen presintearje in frije steat, dy't keunstmjittich kin wurde brûkt ûnder de modulaasje fan in magnetysk fjild, lykas sementuctor etsen, CVD-proses, PVD- en Impproses.
Wat is hege enerzjy? Yn teory kin sawol hege temperatuer as hege frekwinsje rf brûkt wurde. Algemien sprekke, hege temperatuer is hast ûnmooglik te berikken. Dizze temperatuer eask is te heech en kin ticht by de temperatuer fan 'e sinne wêze. It is yn prinsipe ûnmooglik om te berikken yn it proses. Dêrom brûkt de yndustry meastal hege frekwinsje rf om it te berikken. Plasma RF kin berikke sa heech as 13mhz +.
Tungsten HEXAFLuoride is plasvabeare ûnder de aksje fan in elektryske fjild, en dan damp-dellein troch in magnetysk fjild. W-atomen binne gelyk oan Winter Goose fearren en falle nei de grûn ûnder de aksje fan swiertekrêft. Stadich wurde W-atomen yn 'e troch gatten dellein, en it einlings fol troch gatten folbrocht om metalen interconsjes te foarmjen. Njonken deponearje W-atomen yn 'e troch gatten, sille se ek wurde dellein op it oerflak fan' e wafel? Ja, perfoarst. Algemien sprekke, kinne jo it W-CMP-proses brûke, wat is wat wy it meganyske slypproses neame om te ferwiderjen. It is gelyk oan it brûken fan in bezem om de flier nei swiere snie te sweepjen. De snie op 'e grûn wurdt fuort, mar de snie yn it gat op' e grûn sil bliuwe. Omleech, rûchwei itselde.
Posttiid: DEC-24-2021
