Wolfraamhexafluoride (WF6) wurdt troch in CVD-proses op it oerflak fan 'e wafer ôfset, wêrtroch't de metalen ferbiningssleatten fol binne en de metalen ferbining tusken de lagen foarmet.
Litte wy earst oer plasma prate. Plasma is in foarm fan matearje dy't benammen bestiet út frije elektroanen en laden ioanen. It komt breed foar yn it universum en wurdt faak beskôge as de fjirde steat fan matearje. It wurdt de plasmatastân neamd, ek wol "Plasma" neamd. Plasma hat in hege elektryske geliedingsfermogen en in sterk koppelingseffekt mei in elektromagnetysk fjild. It is in foar in part ionisearre gas, besteande út elektroanen, ioanen, frije radikalen, neutrale dieltsjes en fotonen. It plasma sels is in elektrysk neutraal mingsel dat fysyk en gemysk aktive dieltsjes befettet.
De ienfâldige útlis is dat ûnder de aksje fan hege enerzjy it molekule de van der Waals-krêft, de gemyske bânkrêft en de Coulomb-krêft oerwinne sil, en as gehiel in foarm fan neutrale elektrisiteit presintearje sil. Tagelyk oerwint de hege enerzjy dy't troch de bûtenwrâld wurdt jûn de boppesteande trije krêften. Funksje, elektroanen en ioanen presintearje in frije steat, dy't keunstmjittich brûkt wurde kin ûnder de modulaasje fan in magnetysk fjild, lykas healgeleider-etsprosessen, CVD-prosessen, PVD-prosessen en IMP-prosessen.
Wat is hege enerzjy? Yn teory kinne sawol hege temperatuer as hege frekwinsje RF brûkt wurde. Yn 't algemien is hege temperatuer hast ûnmooglik te berikken. Dizze temperatuereasken binne te heech en kinne tichtby de sinnetemperatuer wêze. It is yn prinsipe ûnmooglik om yn it proses te berikken. Dêrom brûkt de yndustry meastentiids hege frekwinsje RF om dit te berikken. Plasma RF kin in frekwinsje fan 13MHz+ berikke.
Wolfraamhexafluoride wurdt plasmaisearre ûnder de aksje fan in elektrysk fjild, en dan dampôfset troch in magnetysk fjild. W-atomen binne fergelykber mei winterguozzefearren en falle ûnder de aksje fan swiertekrêft op 'e grûn. Stadich wurde W-atomen yn 'e trochgeande gatten ôfset, en úteinlik fol mei trochgeande gatten om metalen ferbiningen te foarmjen. Neist it ôfsetten fan W-atomen yn 'e trochgeande gatten, wurde se ek ôfset op it oerflak fan 'e wafer? Ja, wis. Yn 't algemien kinne jo it W-CMP-proses brûke, wat wy it meganyske slypproses neame om te ferwiderjen. It is fergelykber mei it brûken fan in biezem om de flier te feien nei swiere snie. De snie op 'e grûn wurdt fuortfeegd, mar de snie yn it gat op 'e grûn sil bliuwe. Del, sawat itselde.
Pleatsingstiid: 24 desimber 2021
