Elektroanyskspesjale gassenbinne in wichtige tûke fan spesjale gassen. Se penetrearje hast elke skeakel fan healgeleiderproduksje en binne ûnmisbere grûnstoffen foar de produksje fan elektroanyske yndustryen lykas ultra-grutskalige yntegreare circuits, platte skermen en sinnesellen.

Yn healgeleidertechnology wurde fluorhâldende gassen in soad brûkt. Op it stuit binne fluorhâldende elektroanyske gassen goed foar sawat 30% fan it totaal yn 'e wrâldwide merk foar elektroanyske gassen. Fluorhâldende elektroanyske gassen binne in wichtige komponint fan spesjale elektroanyske gassen op it mêd fan elektroanyske ynformaasjematerialen. Se wurde benammen brûkt as reinigingsmiddels en etsmiddels, en kinne ek brûkt wurde as dopants, filmfoarmjende materialen, ensfh. Yn dit artikel sil de auteur jo liede om de gewoane fluorhâldende gassen te begripen.

De folgjende binne faak brûkte fluorhâldende gassen

Stikstoftrifluoride (NF3): In gas dat brûkt wurdt foar it skjinmeitsjen en fuortheljen fan ôfsettings, meastal brûkt foar it skjinmeitsjen fan reaksjekeamers en oerflakken fan apparatuer.

Sulfurhexafluoride (SF6)In fluorearjend middel dat brûkt wurdt yn oksideôfsettingsprosessen en as in isolearjend gas foar it foljen fan isolearjende media.

Wetterstoffluoride (HF): Brûkt om oksiden fan it silisiumoerflak te ferwiderjen en as etsmiddel foar it etsen fan silisium en oare materialen.

Stikstoffluoride (NF): Brûkt om materialen lykas silisiumnitride (SiN) en aluminiumnitride (AlN) te etsen.

Trifluoromethaan (CHF3) entetrafluoromethaan (CF4)Brûkt om fluoridematerialen lykas silikonfluoride en aluminiumfluoride te etsen.

Fluorhâldende gassen hawwe lykwols bepaalde gefaren, ynklusyf giftigens, korrosiviteit en ûntvlambaarheid.

Toksisiteit

Guon fluorhâldende gassen binne giftich, lykas wetterstoffluoride (HF), wêrfan de damp tige yrritearjend is foar de hûd en luchtwegen en skealik is foar de minsklike sûnens.

Korrosivens

Wetterstoffluoride en guon fluoriden binne tige korrosyf en kinne serieuze skea feroarsaakje oan 'e hûd, eagen en luchtwegen.

Flammberens

Guon fluoriden binne brânber en reagearje mei soerstof of wetter yn 'e loft om intense waarmte en giftige gassen frij te meitsjen, dy't brân of eksploazje feroarsaakje kinne.

Gefaar fan hege druk

Guon fluorearre gassen binne eksplosyf ûnder hege druk en fereaskje spesjale soarch by gebrûk en opslach.

Ynfloed op it miljeu

Fluorhâldende gassen hawwe in hege atmosfearyske libbensdoer en GWP-wearden, dy't in destruktyf effekt hawwe op 'e atmosfearyske ozonlaach en kinne wrâldwide opwaarming en miljeufersmoarging feroarsaakje.

De tapassing fan gassen yn opkommende fjilden lykas elektroanika bliuwt ferdjipjen, wat in grutte nije fraach nei yndustriële gassen mei him bringt. Op grûn fan 'e grutte hoemannichte nije produksjekapasiteit fan wichtige elektroanyske komponinten lykas heallieders en displaypanielen op it fêstelân fan Sina yn 'e kommende jierren, lykas de sterke fraach nei ymportferfanging fan elektroanyske gemyske materialen, sil de húshâldlike elektroanyske gasyndustry in hege groeisnelheid ynliede.