Elektroanyskspesjale gassenbinne in wichtige tûke fan spesjale gassen. Se penetrearje hast elke keppeling fan semiconductorproduksje en binne ûnmisbere grûnstoffen foar de produksje fan elektroanyske yndustry, lykas ultra-grutskalige yntegreare circuits, platte paniel-display-apparaten en sinnesellen.

Yn semiconductor technology wurde fluor-befette gassen in soad brûkt. Op it stuit, yn 'e wrâldwide merk foar elektroanyske gas, meitsje fluor-befettende elektroanyske gassen sawat 30% fan it totaal út. Fluor-befette elektroanyske gassen binne in wichtich ûnderdiel fan spesjale elektroanyske gassen op it mêd fan elektroanysk ynformaasjemateriaal. Se wurde benammen brûkt as reinigingsmiddels en etsmiddels, en kinne ek brûkt wurde as dopants, filmfoarmjende materialen, ensfh Yn dit artikel sil de skriuwer jo nimme om de mienskiplike fluor-befettende gassen te begripen.

De folgjende binne algemien brûkte fluor-befettende gassen

Nitrogen trifluoride (NF3): In gas dat brûkt wurdt foar it skjinmeitsjen en fuortheljen fan ôfsettings, meast brûkt foar it skjinmeitsjen fan reaksjekeamers en oerflakken fan apparatuer.

Sulpheksafluoride (SF6): In fluorinating agent brûkt yn okside deposition prosessen en as in isolearjende gas foar it ynfoljen fan isolearjende media.

Hydrogenfluoride (HF): Wurdt brûkt om oksides te ferwiderjen fan it silisium-oerflak en as etsmiddel foar it etsen fan silisium en oare materialen.

Nitrogenfluoride (NF): Wurdt brûkt om materialen lykas silisiumnitride (SiN) en aluminiumnitride (AlN) te etsen.

Trifluormethane (CHF3) entetrafluormethane (CF4): Wurdt brûkt om fluoridematerialen lykas silisiumfluoride en aluminiumfluoride te etsen.

Fluor-befette gassen hawwe lykwols bepaalde gefaren, ynklusyf toxicity, corrosiveness, en flammability.

Toxiciteit

Guon fluorbefettende gassen binne toskysk, lykas wetterstoffluoride (HF), wêrfan de damp tige irriterend is foar de hûd en de luchtwegen en skealik is foar minsklike sûnens.

Corrosiveness

Hydrogenfluoride en guon fluoriden binne tige korrosyf en kinne serieuze skea feroarsaakje oan 'e hûd, eagen en luchtwegen.

Ontvlambaarheid

Guon fluoriden binne brânber en reagearje mei soerstof of wetter yn 'e loft om yntinsive waarmte en giftige gassen frij te meitsjen, dy't brân of eksploazje kinne feroarsaakje.

Gevaar foar hege druk

Guon fluorinearre gassen binne eksplosyf ûnder hege druk en easkje spesjale soarch by it brûken en opslaan.

Ynfloed op it miljeu

Fluor-befette gassen hawwe hege atmosfearyske libbensdoer en GWP-wearden, dy't in destruktyf effekt hawwe op de atmosfearyske ozonlaach en kinne feroarsaakje globale opwaarming en miljeufersmoarging.

De tapassing fan gassen yn opkommende fjilden lykas elektroanika bliuwt ferdjipjen, en bringt in grutte hoemannichte nije fraach nei yndustriële gassen. Op grûn fan 'e grutte hoemannichte nije produksjekapasiteit fan grutte elektroanyske komponinten lykas semyconductors en displaypanels op it fêstelân fan Sina yn' e kommende jierren, lykas ek de sterke fraach nei ymportferfanging fan elektroanyske gemyske materialen, sil de ynlânske elektroanyske gassektor ynliede in hege groei taryf.