Elektroanyskspesjale gassenbinne in wichtige tûke fan spesjale gassen. Se penetrearje hast elke link fan 'e produksje fan Semicondor en binne ûnmismensbere rau materialen foar de produksje fan elektroanyske yndustry lykas ultra-grutskalige yntegreare omslach, platte paniel Display-display.

Yn Semiconductor Technology, Fluorm-befette gassen binne breed brûkt. Op it stuit, yn 'e wrâldwide elektroanyske gasmerk, fluor-befette elektroanyske gassen-akkount foar sawat 30% fan it totaal. Fluorine-befette elektroanyske gassen binne in wichtige komponent fan spesjale elektroanyske gassen op it fjild fan elektroanyske ynformaasjematerialen. Se wurde fral brûkt as skjinmeitsjen fan aginten en etsen, en kin ek wurde brûkt as kopers, filmfoarmich materialen, ens. Yn dit artikel sil jo nimme om de mienskiplike fluor te begripen.

It folgjende wurde faak brûkt fluormin-befette gassen

Stikstof trifluoride (NF3): in gas brûkt foar skjinmeitsjen en ferwiderjen fan ôfsettingen en ferwiderje meastal foar it skjinmeitsjen fan reaksjekeamer en apparatuer oerflakken.

Sulfur HexaFluoride (SF6): In fluorinearjende agint brûkt yn prosessen fan oksidepositionen en as in isolearend gas foar it ynfoljen fan isolearjende media ynfoljen.

Hydrogen Fluoride (HF): brûkt om otsides te ferwiderjen fan it silisium fan it silisium-oerflak en as in etsen foar etsen fan silisium en oare materialen.

Nitrogen fluor (NF): Wurdt brûkt om te etsissen, lykas silisiumnitride (sin) en aluminium nitride (Aln).

TRIFLUOROMETHANE (CHF3) enTetrafluoRomethane (CF4): Wurdt brûkt om Fluoride-materialen te etsen lykas Silicon Fluoride en Aluminium Fluoride.

Fluor-befette gassen hawwe lykwols bepaalde gefaren, ynklusyf taaien, korrosiviteit, en brânberens.

Toxicity

Guon fluor-befette gassen binne giftich, lykas hydrogen fluoride (HF), waans damp tige irritearend is foar de hûd en sykheljen en skealik foar minsklike sûnens.

Korrosiviteit

Hydrogen Fluoride en guon fluorides binne heul korrosyf en kinne serieuze skea feroarsaakje oan 'e hûd, eagen en respiratoire traktaat.

Flammability

Guon fluorides binne ontvlamber en reagearje mei soerstof as wetter yn 'e loft om intense waarmte en giftige gassen frij te meitsjen, wat fjoer of eksploazje kin feroarsaakje.

High-Druk Hazard

Guon fluorineare gassen binne eksplosyf ûnder hege druk en fereaskje spesjale soarch as se wurde brûkt en opslein.

Ympakt oer it miljeu

Fluorine-befette gassen hawwe hege atmosferyske libbensdieden en GWP-wearden, dy't in destruktyf effekt hawwe op 'e atmosfearyske ozone-laach feroarsaakje en mije warming en miljeufersmoarging kinne feroarsaakje.

De tapassing fan gassen yn opkommende fjilden lykas elektroanika bliuwt ferdjipje, in grutte hoemannichte nije fraach bringe foar yndustriële gassen. Basearre op it grutte hoemannichte nije produksjekapasiteit fan grutte elektroanyske komponinten en werjaan panielen yn 'e kommende jier yn' e kommende fraach yn 'e iene oft de sterke applika-materialen, sil de ynlânske elektroanyske gasyndustry yn in hege groei.