Wat iskoalstoftetrafluorideWat is it nut?
Koalstoftetrafluoride, ek wol bekend as tetrafluoromethaan, wurdt beskôge as in anorganyske ferbining. It wurdt brûkt yn it plasma-etsproses fan ferskate yntegreare circuits, en ek brûkt as lasergas en koelmiddel. It is relatyf stabyl ûnder normale temperatuer en druk, mar it is needsaaklik om kontakt mei sterke oksidanten, brânbere of brânbere materialen te foarkommen. Koalstoftetrafluoride is in net-brânber gas. As it yn kontakt komt mei hege waarmte, sil it de ynterne druk fan 'e kontener ferheegje, en is d'r in gefaar foar barsten en eksploazje. Meastentiids kin it allinich by keamertemperatuer ynteraksje hawwe mei floeibere ammoniak-natriummetaalreagens.
Koalstoftetrafluorideis op it stuit it grutste plasma-etsgas dat brûkt wurdt yn 'e mikro-elektroanika-yndustry. It kin breed brûkt wurde yn it etsen fan silisium, silisiumdiokside, fosfosilikaatglês en oare tinne filmmaterialen, it skjinmeitsjen fan it oerflak fan elektroanyske apparaten, produksje fan sinnesel, lasertechnology, gasfaze-isolaasje, lege-temperatuerkoeling, lekdeteksjemiddels, en detergenten yn printe circuitproduksje hawwe in grut oantal tapassingen.
Pleatsingstiid: 1 novimber 2021
