Komponint | 99.9999% | Ienheid |
Soerstof (Ar) | ≤0.1 | ppmV |
Stikstof | ≤0.1 | ppmV |
Wetterstof | ≤20 | ppmV |
Helium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0.1 | ppmV |
THC | ≤0.1 | ppmV |
Chlorsilanen | ≤0.1 | ppmV |
Disiloksaan | ≤0.1 | ppmV |
Disilane | ≤0.1 | ppmV |
Focht (H2O) | ≤0.1 | ppmV |
Silaan is in ferbining fan silisium en wetterstof. It is in algemiene term foar in searje ferbiningen, ynklusyf monosilaan (SiH4), disilaan (Si2H6) en guon hegere silisium-wetterstofferbiningen. Under harren is monosilaan it meast foarkommend, soms koartwei silaan neamd. Silaan is in kleurleas gas mei in walgelijke rook fan knoflook. Oplosber yn wetter, hast ûnoplosber yn ethanol, ether, benzeen, chloroform, silisiumchloroform en silisiumtetrachloride. De gemyske eigenskippen fan silanen binne folle aktiver as alkanen en wurde maklik oksidearre. Spontane ferbaarning kin foarkomme as it yn kontakt komt mei loft. It reagearret net mei stikstof ûnder 25 °C, en reagearret net mei koalwetterstofferbiningen by keamertemperatuer. Brân en eksploazje fan silaan binne it gefolch fan reaksje mei soerstof. Silaan is ekstreem gefoelich foar soerstof en loft. Silaan mei in bepaalde konsintraasje sil ek eksplosyf reagearje mei soerstof by in temperatuer fan -180 °C. Silaan is it wichtichste spesjale gas wurden dat brûkt wurdt yn healgeleider-mikroelektroanikaprosessen, en wurdt brûkt by de tarieding fan ferskate mikroelektroanyske films, ynklusyf ienkristallfilms, mikrokristallijne, polykristallijne, silisiumokside, silisiumnitride en metaalsiliciden. De mikroelektroanyske tapassingen fan silaan ûntwikkelje har noch yn 'e djipte: leechtemperatuerepitaksy, selektive epitaksy en heteroepitaksiale epitaksy. Net allinich foar silisiumapparaten en silisiumyntegreare circuits, mar ek foar gearstalde healgeleiderapparaten (galliumarsenide, silisiumkarbide, ensfh.). It hat ek tapassingen yn 'e tarieding fan superrooster-kwantumputmaterialen. It kin sein wurde dat silaan brûkt wurdt yn hast alle avansearre yntegreare circuitproduksjelinen yn moderne tiden. De tapassing fan silaan as in silisiumhâldende film en coating is útwreide fan 'e tradisjonele mikroelektroanika-yndustry nei ferskate fjilden lykas stiel, masines, gemikaliën en optyk. In oare potinsjele tapassing fan silaan is de fabrikaazje fan hege prestaasjes keramyske motorûnderdielen, benammen it gebrûk fan silaan foar it produsearjen fan siliside (Si3N4, SiC, ensfh.) mikropoedertechnology hat hieltyd mear oandacht lutsen.
①Elektroanysk:
Silaan wurdt tapast op polykristallijne silisiumlagen op silisiumwafers by it meitsjen fan healgeleiders en kitten.
②Sinne-enerzjy:
Silaan wurdt brûkt yn 'e produksje fan sinne-fotovoltaïsche modules.
③Yndustrieel:
It wurdt brûkt yn enerzjybesparjend grien glês en tapast op it tinne-filmproses fan dampôfsetting.
Produkt | Silaan SiH4 floeistof | |
Pakketgrutte | 47 liter silinder | Y-440L |
Netto gewicht/silinder folje | 10 kg | 125 kg |
Kwantiteit laden yn 20' kontener | 250 silinders | 8 silinders |
Totaal nettogewicht | 2,5 ton | 1 ton |
Silinder Tarra Gewicht | 52 kg | 680 kg |
fentyl | CGA632/DISS632 |
①Mear as tsien jier op 'e merk;
②ISO-sertifikaatfabrikant;
③Snelle levering;
④Stabile grûnstofboarne;
⑤On-line analysesysteem foar kwaliteitskontrôle yn elke stap;
⑥Hege easken en sekuer proses foar it behanneljen fan silinder foar it foljen;
⑦Purity: hege suverens elektroanyske klasse;
⑧Gebrûk: materialen foar sinnesel; it meitsjen fan polysilicium mei hege suverens, silisiumokside en optyske glêstried; produksje fan kleurd glês.